[省本級]江西省鼎躍招標咨詢有限公司關于南昌大學國家硅基LED工程技術研究中心雙軸晶圓減薄機與800千瓦雙頭螺桿機制冷機采購項目(采購編號：JXDY2018-C0047)競爭性磋商采購公告
[2018-11-07]
江西省鼎躍招標咨詢有限公司受南昌大學的委托，就南昌大學國家硅基LED工程技術研究中心雙軸晶圓減薄機與800千瓦雙頭螺桿機制冷機采購項目(采購編號：JXDY2018-C0047)進行競爭性磋商采購, 歡迎符合資格條件的供應商參加磋商。
一、 項目名稱：南昌大學國家硅基LED工程技術研究中心雙軸晶圓減薄機與800千瓦雙頭螺桿機制冷機采購項目
二、 采購編號：JXDY2018-C0047
三、 采購項目內容、數量及清單：
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采購條目編號 |
采購條目名稱 |
數量
（單位） |
預算金額
（人民幣/元） |
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贛購2018F000076068 |
科研 雙軸晶圓減薄機 |
1臺 |
1600000.00 |
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贛購2018F000073343 |
科研 800千瓦雙頭螺桿機制冷機 |
1臺 |
580000.00 |
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預算金額合計 |
2180000.00 |
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設備采購清單及簡要技術說明 |
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序號 |
設備名稱 |
數量 |
簡要技術需求 |
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1 |
科研 雙軸晶圓減薄機 |
1臺 |
一、 設備名稱及用途
1.名稱：雙軸晶圓減薄機；
2.設備主要用于2"、4"、6"硅晶圓或其它硬脆材料的薄化處理工藝。
二、 加工質量要求（6"）
1.厚度變化量TTV≤3um；
2.不同片之間厚度變化量WTW≤±3um；
4.表面無減薄損傷，燒傷，異常，沾污，破壞等情況；
5.邊緣無崩邊破損現象。
三、 主要技術指標和設備結構性能要求
1技術要求：
1.1.設備能滿足2"、4"、6"圓片產品的磨片要求；
1.2.適合加工厚度:300um-2300um,（1800um以上厚度測量儀報警失效）最薄可以加工到150um；
1.3.適合產品類型：缺口和平邊定位的晶圓產品；
1.4.在發(fā)生動力異常,操作使用過程各種可能操作失誤等情況下均能保證產品安全,機臺安全和人身安全；
1.5.滿足各部分可以單獨方便使用或調試；
1.6.機臺要求品種切換時,磨輪更換時間:＜60Min；各機械PAD更換調試時間＜15Min；
1.7.在1萬級無塵室能保證加工質量達到上述加工質量要求指標要求。
四、 出廠標準配置
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名稱 |
規(guī)格型號 |
單臺配置數量 |
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整機設備 |
定制型 |
1臺 |
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專用砂輪（承片臺修正用） |
270# |
1個 |
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粗磨輪 |
800# |
1個 |
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精磨輪 |
2000# |
1個 |
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磨輪修正盤 |
用于磨輪修正 |
1件 |
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設備維護工具 |
用于設備維護 |
1套 |
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說明書及技術圖紙 |
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1套 |
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水環(huán)真空系統(tǒng) |
最大氣量0.86m3/min,極限真空度-0.098MPa, |
1套 |
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空氣過濾裝置 |
3um，1um，0.1um三級過濾 |
1套 |
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清洗油石 |
手持式，用于清洗承片臺 |
1個 |
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2 |
科研 800千瓦雙頭螺桿機制冷機 |
1臺 |
一．設備參數及需求如下：
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采購設備規(guī)格與技術參數 |
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序號 |
數量 |
臺 |
1 |
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1 |
單臺制冷量 |
kW |
1100（±5%） |
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2 |
冷凍水進/出水溫度 |
℃ |
12℃/7℃ |
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3 |
冷卻水進/出水溫度 |
℃ |
30℃/35℃ |
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4 |
冷凍水量 |
（M^3/h） |
200±10% |
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5 |
冷卻水量 |
（M^3/h） |
220±10% |
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6 |
制冷劑 |
/ |
HFC-134a |
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7 |
使用電源 |
/ |
380V/3Φ/50Hz |
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8 |
機組輸入功率 |
kW |
185±5% |
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9 |
冷卻水最低運行范圍 |
℃ |
≤20 |
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10 |
噪聲值 |
dB(A) |
＜85 |
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11 |
100%負荷時COP值 |
kW/ kW |
≥5.8 |
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12 |
NPLV值（ARI工況） |
kW/ kW |
＞6 |
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13 |
冷凍水最高設置溫度 |
℃ |
≤10 |
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14 |
雙機頭功率分配范圍 |
% |
15-100無級能量調節(jié) |
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15 |
啟動方式 |
/ |
星三角啟動 |
二、技術要求
1.機組能耗必須符合國家GB標準《冷水機組能效限定值及能源效率等級》（GB19577-2004）規(guī)定的節(jié)能評價值——能效等級1級。
2.整體要求
2.1.冷水機組應為整裝式結構，即在工廠完成機組的所有制造和性能檢驗測試工作，安裝現場完全不需要再進行制冷系統(tǒng)組裝和制冷劑充裝工作；
2.2.機組主要由制冷壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器、潤滑系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、保護系統(tǒng)、節(jié)流裝置等組成。機組各零部件的安裝應牢固、可靠，制冷壓縮機應有防振動措施。機組運轉時無異常響動，管路間或管路與零部件間不應有相互摩擦和碰撞；
2.3.機組的隔熱層應有良好的隔熱性能，在正常工作時表面不應有凝露現象；
3.主要部件
3.1.壓縮機
3.1.1.應采用半封閉螺桿式壓縮機，壓縮機絕緣等級不低于F級，電機密封保護等級不低于IP54。壓縮機的螺桿、軸承必須為進口，且運行壽命不小于10萬小時；
3.1.2.每臺機組的制冷量應能在一定范圍內無級調節(jié)，雙機頭機組不低于15%-100%無級調節(jié)范圍；
3.1.3.潤滑油采用壓差供油方式，無需油泵，多壓縮機之間無需油平衡管路。
3.2.蒸發(fā)器、冷凝器
3.2.1.蒸發(fā)器應采用滿液式，冷凝器采用殼管式，冷凝器和蒸發(fā)器與冷水機組應為同品牌，外殼采用優(yōu)質碳鋼板制造，內銅管均應采用優(yōu)質無縫紫銅管。蒸發(fā)器內應有防液態(tài)冷媒流向壓縮機的裝置。冷凝器和蒸發(fā)器必須由國家認可資質的質量技術監(jiān)督部門出具的壓力容器使用證和特種設備檢查檢驗部門出具的安全檢驗合格證。蒸發(fā)器的制作及試驗應符合國家標準。冷凝器和蒸發(fā)器制成后，應經過氣壓強度試驗和氦質譜泄漏試驗，確保換熱器的強度和密封性。冷卻水和冷凍水進出水管帶中國標準卡箍或法蘭。接管可按施工圖示方向現場調整。
3.2.2.機組水系統(tǒng)承壓：冷凝器不應低于1.0MPa，蒸發(fā)器不應低于1.0MPa。 |
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產地類型：國產。
一、 供應商資格標準和要求：
1）具有獨立承擔民事責任的能力；
2）具有良好的商業(yè)信譽和健全的財務會計制度；
3）具有履行合同所必需的設備和專業(yè)技術能力；
4）具有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄；
5）參加政府采購活動前三年內，在經營活動中沒有重大違法記錄；
6）法律、行政法規(guī)規(guī)定的其他條件：供應商未被“信用中國”網站列入失信被執(zhí)行人和重大稅收違法案件當事人名單的和未被“中國政府采購網”網站列入政府采購嚴重違法失信行為記錄名單（處罰期限尚未屆滿的）。
二、 供應商其他要求：不接受聯合體方式參與本項目。
三、 獲取磋商文件時間和地址：有意向的供應商可從2018年11月7日起至2018年11月13日(節(jié)假日除外)09:00～12:00，14:30～17:00 (北京時間)在江西省鼎躍招標咨詢有限公司（江西省南昌市撫河北路117號人民日報大廈13樓）獲取競爭性磋商文件（磋商文件每份200元人民幣，售后不退，購買磋商文件時須提供單位介紹信或法人授權委托書原件）。
四、 磋商地址：江西省鼎躍招標咨詢有限公司（南昌市撫河北路117號人民日報大廈13樓）。
五、 遞交首次磋商響應文件的截止時間和磋商時間：2018年11月19日9:30時（北京時間）。
六、 代理服務費：由成交供應商支付，詳見磋商文件“供應商須知”。
七、 聯系方式
1）采購單位：南昌大學
地址：學府大道999號南昌大學前湖校區(qū)
聯系電話：0791-83969364
2）采購代理機構：江西省鼎躍招標咨詢有限公司
地址：江西省南昌市撫河北路117號人民日報大廈12-13樓
聯系人：余啟凡、劉霞
聯系電話：0791-87915291
電子郵箱：574514725@qq.com
江西省鼎躍招標咨詢有限公司
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